高純超細(xì)石英粉具備優(yōu)良的化學(xué)物理特性，熔點(diǎn)在1715℃，α-β 的結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換溫度為573℃，無(wú)解理，具有極好的化學(xué)穩(wěn)定性、高絕緣耐壓能力，擊穿電壓32-34KV/mm，低熱膨脹，作為優(yōu)質(zhì)填充料應(yīng)用于集成電路、微電子產(chǎn)品、塑封材料等。,    隨著光纖工業(yè)、電子工業(yè)、微電子工業(yè)等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，對(duì)高純超細(xì)石英粉的要求越來(lái)越高，需求量也越來(lái)越大。目前石英微粉的制作原料多為優(yōu)質(zhì)天然石英礦料，其工藝流程為：原料→粗碎→中碎→酸洗→水洗→干燥→干法超細(xì)粉碎→分級(jí)→產(chǎn)品。但是全國(guó)各地的石英原礦品位不一，雜質(zhì)含量差別很大，采用傳統(tǒng)工藝制得的高純超細(xì)石英粉的純度不易保證。而且隨著高品位的石英原礦資源的枯竭，原材料的價(jià)格會(huì)越來(lái)越高，生產(chǎn)成本也會(huì)越來(lái)越高。,    石英堝是利用高純 經(jīng)過(guò)熔制而成，石英堝實(shí)際上已經(jīng)成為SiO2 含量極高、Fe2O3 等雜質(zhì)含量極低的非晶態(tài)SiO2，具有熱膨脹系數(shù)小、抗熱振穩(wěn)定性強(qiáng)、透明度高等優(yōu)點(diǎn)。在生產(chǎn)過(guò)程中每生產(chǎn)1 噸石英堝要有0.25 噸的廢石英堝。因此，綜合利用這些石英堝廢料制備高附加值的產(chǎn)品不僅可以解決企業(yè)污染難題，而且可以創(chuàng)造較高的經(jīng)濟(jì)價(jià)值。,    發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，提出了一種以廢舊石英堝制備高純超細(xì)石英粉的方法，以實(shí)現(xiàn)石英堝廢料的回收再利用之目的。,    本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明提出了一種以廢舊石英堝制備高純超細(xì)石英粉的方法，其特征在于，步驟如下：,    (1) 破碎：采用廢舊石英堝為原料，粉碎后得粒徑為1 ～ 30mm 的塊料；,    (2) 酸洗：利用加超聲波發(fā)生器的酸洗裝置對(duì)塊料進(jìn)行酸洗除雜，超聲波頻率為35 ～ 50Hz，超聲波功率為600 ～ 700W，采用草酸與鹽酸的二元混合酸或者氫氟酸、草酸與硝酸的三元混合酸；二元混合酸中草酸與鹽酸的比重為1 ∶ 1 ～ 3，三元混合酸中氫氟酸、草酸與硝酸的比重為1 ∶ 1 ～ 5 ∶ 1 ；塊料與混合酸的重量比為1 ∶ 1 ～ 5 ；具體過(guò)程為：在室溫下，利用混合酸溶液浸泡塊料10 ～ 100h，中間攪拌3 ～ 5 次，然后在超聲場(chǎng)中處理50 ～100min，流走表面溶液；,    (3) 水洗：采用純凈水將酸洗后的塊料進(jìn)行超聲清洗3 ～ 5 次，超聲頻率為10 ～20Hz，超聲功率為100 ～ 200W，洗滌至中性；,    (4) 烘干：將洗滌后的塊料用烘箱進(jìn)行烘干至含水重量比＜ 1％ ；,    (5) 研磨：采用高細(xì)球磨機(jī)進(jìn)行研磨，采用10 ～ 40mm 的4 中不同規(guī)格的球磨介質(zhì)，介質(zhì)填充率在28％～ 35％之間。